网站标题: MEMS 公共技术服务平台
网站网址: http://mems.ciotc.org
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网站标签: MEMS,MEMS,平台,MEMS公共技术服务平台,MEMS
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MEMS 公共技术平台由无锡微纳产业发展有限公司、中国物联网研究发展中心筹、无锡华润上华半导体有限公司等单位于2010年11月开始共同建设。MEMS公共技术服务平台从完善MEMS传感器产业链的角度出发,依托华润上华十余年半导体经验和规模制造能力,通过中国物联网研究发展中心的桥梁纽带作用,建设国内首条与CMOS工艺线和MEMS规模制造线无缝对接的MEMS研发生产和测试平台,在无锡形成国内**具备设计、加工和测试服务能力的较为完备的MEMS公共技术平台,在传感网国际创新园集聚一批具有自主知识产权的MEMS传感器研发机构和企业。平台以核心技术**、产业集聚、人才集聚、支撑物联网产业发展及应用示范为目标,分别建设MEMS设计服务子平台、MEMS工艺试验线、MEMS测试服务子平台。
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